在集成電路封裝行業(yè)中,引線鍵合工藝的應(yīng)用產(chǎn)品超過90%。引線鍵合是指在一定的環(huán)境下,采用超聲加壓的方式,將引線兩端分別焊接在芯片焊盤上和引線框架上,從而實現(xiàn)芯片內(nèi)部電路與外部電路的連接。引線鍵合工藝發(fā)展至今,主要的引線材料有金線、鋁線、銅線等。在MCU、DSP等芯片中,傳統(tǒng)鍵合工藝仍以金線為主,但已出現(xiàn)銅線鍵合工藝的替代趨勢。主要原因有:
(1)銅線鍵合球剪切力比金線高15%~25%,拉力值比金線高10%~20%,且在塑封注塑時具有良好的抗沖彎性;
(2)銅線相較于金線而言,導(dǎo)電率和導(dǎo)熱性都優(yōu)于金線;
(3)銅線的成本優(yōu)勢遠(yuǎn)超金線,成本僅為金線的1/10。
盡管銅線在很多方面都優(yōu)于金線,但銅線鍵合在以往的產(chǎn)品應(yīng)用中,可靠性的表現(xiàn)卻顯得差強人意。據(jù)統(tǒng)計,銅線鍵合應(yīng)用中的失效主要形式為鍵合線和基體分離、腐蝕、IMC過度生長等。引起失效的主要有以下因素:
(1)銅線比金線更容易氧化;
(2)銅線硬度大,超聲能量或鍵合力難以控制,工藝窗口較窄;
(3)銅線耐腐蝕性差,對塑封材料要求高于金線。
隨著引線封裝技術(shù)的發(fā)展,銅線鍵合能夠滿足芯片的多引腳、密間距、小鍵合的發(fā)展要求,進(jìn)而實現(xiàn)功能更加復(fù)雜、功耗更低、價格更便宜的市場化需求。在汽車上使用銅線鍵合工藝的芯片產(chǎn)品也逐年提升。而針對該類型產(chǎn)品的可靠性問題,AEC組織也制定了相關(guān)測試標(biāo)準(zhǔn),即AEC-Q006 (Qualification Requirements for Components using Copper (Cu) Wire Interconnections)。
銅線鍵合半導(dǎo)體產(chǎn)品車規(guī)測試流程鍵合線作為連接封裝與晶片的重要材料,若采用的鍵合線為銅線,需要特別關(guān)注硅片與封裝相互影響方面(CPI)的試驗。以IC的車規(guī)驗證為例,以往只需要依據(jù)AEC-Q100標(biāo)準(zhǔn)開展測試,而對于銅線鍵合IC,則必須考慮AEC-Q006的額外要求,即進(jìn)行AEC-Q100 Group A項目的加嚴(yán)測試,重點考察晶片與封裝的可靠性,主要包括封裝材料之間的熱膨脹匹配性、濕氣對封裝連接材料的腐蝕、高溫對鍵合線連接處的IMC生長等,相關(guān)試驗流程如圖1所示:
圖1:銅線AEC-Q100環(huán)境試驗流程圖
通過上述流程可以看出:
①對于聲掃樣品可以有兩種選擇,分別為對樣品進(jìn)行標(biāo)記和隨機抽取樣品兩種形式。如果對樣品進(jìn)行標(biāo)記,那么只需在3批次的樣品中,每個批次分別標(biāo)記11顆進(jìn)行試驗前后聲掃測試;否則,每個批次隨機抽取22顆樣品進(jìn)行試驗前后聲掃。
②涉及到兩次應(yīng)力(stress 2×)測試的試驗主要是TC、HAST/THB、PTC、HTSL,其中TC和HAST/THB主要是針對銅線的工藝窗口較窄,且銅線的耐腐蝕性較差展開考察。另外,標(biāo)準(zhǔn)針對這兩項試驗也給出了相應(yīng)試驗優(yōu)化流程。第一次應(yīng)力試驗后鍵合線力學(xué)性能和截面觀察測試可以放到第二次應(yīng)力后再執(zhí)行。
③對于PTC試驗來說,無需進(jìn)行鍵合線力學(xué)性能和截面觀察的測試,主要的原因是:在AEC-Q的可靠性模型中,PTC這個試驗主要傾向于考察焊點疲勞和die attach這個兩個方面的可靠性。
④HTSL試驗主要考察鍵合線的IMC生長,該測試在兩次應(yīng)力試驗后均需進(jìn)行鍵合點剖面切片觀察;另外影響IMC的生長的因素主要可以分為溫度和塑封料氯離子含量等兩大要素,因此執(zhí)行該項試驗需要盡可能不要選擇超過150°C的測試溫度作為測試條件。
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